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寫真化學(xué)膜厚測量裝置

寫真化學(xué)膜厚測量裝置

  • 產(chǎn)品型號(hào):反射/透射
  • 更新時(shí)間:2024-03-21
  • 產(chǎn)品介紹:寫真化學(xué)膜厚測量裝置
    分為:標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)、紅外透射式型號(hào)、自動(dòng)映射膜厚儀、成像膜厚儀
  • 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339

產(chǎn)品介紹

寫真化學(xué)膜厚測量裝置

 

標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)可測量膜厚對(duì)象:

抗蝕劑厚度

多孔膜

ITO

多晶硅

電池電極

玻璃粘合晶片

端點(diǎn)檢測

貼合晶片等

 

自動(dòng)映射膜厚儀

可測量膜厚對(duì)象:

抗蝕劑厚度

貼合晶片

多孔膜

ITO

多晶硅

電池電極

玻璃粘合晶片

帶圖案晶片等

 

分為:標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)、紅外透射式型號(hào)、自動(dòng)映射膜厚儀、成像膜厚儀

 

寫真化學(xué)膜厚測量裝置

通用型膜厚監(jiān)視器(標(biāo)準(zhǔn)型號(hào))

可用作端點(diǎn)監(jiān)視器

也可以對(duì)應(yīng)粘接劑層、玻璃層等通常較難測量的材料

 

通用型膜厚監(jiān)視器(紅外透射式型號(hào))

對(duì)應(yīng)反射弱的薄膜材料

可對(duì)應(yīng)卷對(duì)卷測量

 

自動(dòng)映射膜厚儀

除了高速自動(dòng)映射、等高線、3D圖顯示之外,還自動(dòng)解析直方圖等統(tǒng)計(jì)信息

標(biāo)準(zhǔn)對(duì)應(yīng)φ100300mm的圓形晶圓,也可對(duì)應(yīng)方形被測物等特殊形狀,可選配定制載物臺(tái)板

可對(duì)應(yīng)選配項(xiàng)目中的自動(dòng)校準(zhǔn)

 

成像膜厚儀

微細(xì)二維膜厚分布原位的可視化

通過在GUI上區(qū)域,計(jì)算微小區(qū)域的膜厚


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